ٽيفلون ڪوٽيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر - حساس ويفر هينڊلنگ لاءِ نان اسٽڪ مٿاڇري

سينٽ سيرا جو ٽيفلون (PTFE) ڪوٽيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر هڪ اعليٰ طاقت واري ايلومينا سبسٽريٽ کي هڪ يونيفارم، گهٽ رگڙ واري PTFE ڪوٽنگ (ٿلهائي 15-30 μm) سان گڏ ڪري ٿو. ڪوٽنگ رگڙ جو انتهائي گهٽ ڪوئفيشينٽ (≤0.1)، بهترين ڪيميائي مزاحمت، ۽ نان اسٽڪ خاصيتون مهيا ڪري ٿي، ويفر جي چپکڻ کي روڪي ٿي ۽ پٺيءَ جي آلودگي کي ختم ڪري ٿي. هيٺيون سيرامڪ سبسٽريٽ (99.8% Al₂O₃) اعليٰ لچڪدار طاقت (361-1000 MPa)، لباس مزاحمت، ۽ 260°C (ڪوٽنگ جي حد) تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو. هي اينڊ ايفيڪٽر نازڪ، پتلي، يا چپچپا ويفرز کي سنڀالڻ لاءِ مثالي آهي (مثال طور، فوٽو ريزسٽ ڪوٽنگ يا ڪيميائي عملن کان پوءِ).

وضاحتون (PTFE ڪوٽنگ سان 99.8٪ Al₂O₃ سبسٽريٽ تي ٻڌل):

نوٽ: PTFE ڪوٽنگ وڌ ۾ وڌ گرمي پد کي 260°C تائين محدود ڪري ٿي؛ وڌيڪ گرمي پد جي ايپليڪيشنن لاءِ، غير ڪوٽيڊ سيرامڪ يا ٻين ڪوٽنگن تي غور ڪريو.

درخواستون:

• · فوٽو ريزسٽ ڪوٽنگ کان پوءِ ويفرز کي سنڀالڻ (چپچپا مٿاڇريون)
• · پتلي يا نازڪ ويفرز جي منتقلي (چپڪڻ کان روڪي ٿي)
• · سيمي ڪنڊڪٽر انسپيڪشن ۽ ميٽرولوجي جا اوزار
• · صفائي واري ڪمري جي خودڪار جتي ذرات جي آلودگي کي گھٽ ۾ گھٽ ڪرڻ گهرجي

پيداوار جو عمل:

سيرامڪ سبسٽريٽ سينٽرڊ ۽ پريزين گرائونڊ → مٿاڇري کي رَفنگ (پلازما ايچ يا گرٽ بلاسٽ) → پي ٽي ايف اي اسپري ڪوٽنگ → 380°C تي گرمي علاج → آخري معائنو. هر اينڊ ايفيڪٽر کي ڪوٽنگ جي ٿولهه (ايڊڊي ڪرنٽ)، چپڪندڙ (ڪراس ڪٽ ٽيسٽ ASTM D3359)، ۽ رگڙ جي کوٽائي لاءِ چيڪ ڪيو ويندو آهي.

معيار جو ضابطو:

پن هولز يا بلبلن لاءِ 100٪ بصري معائنو؛ ڪوٽنگ جي ٿولهه ±5 μm اندر هڪجهڙائي؛ شاھد ڪوپن تي 90° موڙ ٽيسٽ کان پوءِ ڪو به ڊيليمينيشن نه. OEM رواداري لاءِ طول و عرض جي جانچ (ڊيگھائي ±0.05 ملي ميٽر، فليٽنس ≤0.1 ملي ميٽر).

اڻ ڪوٽ ٿيل يا ٻين ڪوٽنگن تي فائدا:

• · نان اسٽڪ مٿاڇري ويفر جي چپکڻ ۽ ٽٽڻ کي روڪي ٿي
• · سيرامڪ ڪوٽنگن ۾ رگڙ جو گھٽ ۾ گھٽ کوٽائي
• · بهترين ڪيميائي مزاحمت (تيزاب، بنياد، محلول)
• · مواد جي منتقلي کي روڪيندي ذرڙن جي پيداوار کي گھٽائي ٿو

حدون (مادي انحراف تي تبصرا):

PTFE ڪوٽنگ مهيا ڪيل مادي ملڪيت جي جدولن (Al₂O₃، ZrO₂، Si₃N₄، BeO) مان حاصل نه ڪئي وئي آهي. سبسٽريٽ خاصيتون سختي سان فراهم ڪيل ڊيٽا شيٽ (99.8% Al₂O₃) جي پيروي ڪن ٿيون. ڪوٽنگ خاصيتون انڊسٽري-معياري PTFE وضاحتن تي ٻڌل آهن، ڇاڪاڻ ته ڪو به ڪوٽنگ ڊيٽا فراهم نه ڪيو ويو هو. 260°C کان وڌيڪ ايپليڪيشنن لاءِ، هڪ غير ڪوٽيڊ سيرامڪ اينڊ ايفڪٽر جي سفارش ڪئي وئي آهي.*

ڪسٽمائيزيشن:

150-1500 ملي ميٽر جي ڊيگهه، ٽپ جي شڪلن (ايج گرپ، برنولي، فليٽ)، OEM ڊرائنگ مطابق ماؤنٽنگ فلانج نمونن ۾ موجود آهي. جزوي ڪوٽنگ (صرف رابطي جا علائقا) يا مڪمل ڪوريج اختياري.

چپکڻ ۽ رگڙ جي جاچ لاءِ نموني جي درخواست ڪريو.