ايلومينا سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر انٽيگريٽيڊ ويڪيوم چينلز سان
سينٽ سيرا جو ايلومينيا ويڪيوم اينڊ ايفيڪٽر پريزين مشين ٿيل ويڪيوم چينلز ۽ سکشن هولز کي سڌو سنئون 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينيا باڊي ۾ ضم ڪري ٿو. هي ڊيزائن ٻاهرين ويڪيوم پيڊ کي ختم ڪري ٿو، يونيفارم هولڊنگ فورس سان سڌو ويفر پڪ اپ کي فعال بڻائي ٿو. مواد جي اعليٰ لچڪدار طاقت (361 MPa) ۽ سختي (16 GPa) بار بار ويڪيوم سائيڪلن جي تحت ڊگهي مدت جي طول و عرض جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي. پيڊ ايريا ۾ فليٽنس 10 μm اندر برقرار رکيو ويندو آهي، ويفر جي دٻاءُ ۽ ٽٽڻ کي روڪيندو آهي. ويڪيوم پورٽ OEM روبوٽ هٿيارن سان آسان انضمام لاءِ پوئين ماؤنٽنگ فلانج تي واقع آهن.
وضاحتون(99.8% Al₂O₃ تي ٻڌل):
| ملڪيت | قدر |
| مواد | 99.8٪ ايلومينا (آئيوري) |
| کثافت | 3.93 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| لچڪدار طاقت | 361 ايم پي اي |
| وِڪرز جي سختي | 16 جي پي اي |
| ينگ جو ماڊيولس | 380 جي پي اي |
| حرارتي واڌارو | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| پيڊ فليٽنس | ≤10 μm |
| ويڪيوم چينل جي ويڪر | 0.5-2.0 ملي ميٽر |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | 800 ° سي |
درخواستون:
● پتلي يا ويڙهيل ويفرن جو ويڪيوم کڻڻ
● ڪنڊ گرفت کان سواءِ سڌو ويفر هٿ ڪرڻ.
● شمسي سيل ۽ ايل اي ڊي سبسٽريٽ منتقلي
پيداوار:
سينٽرڊ ايلومينا خالي → ويڪيوم چينلز ۽ سوراخن جي 5-محور سي اين سي ڊرلنگ → مٿاڇري جي ليپنگ → الٽراسونڪ صفائي → هيليم ليڪ ٽيسٽ. هر اثر ڪندڙ ويڪيوم يونيفارم لاءِ 100٪ وهڪري جي جانچ ڪئي وئي آهي.
فائدا:
● ڪوبه ٻاهرين ويڪيوم پيڊ نه (ذريعن جي ذريعن کي گھٽائي ٿو)
● هڪجهڙائي وارو دٻاءُ ويفر مارڪنگ کي روڪي ٿو.
● ڪيميائي طور تي غير فعال ۽ صاف ڪمري سان مطابقت رکندڙ
