پريسيشن ڊائسنگ ۽ گرائنڊنگ لاءِ ايلومينا ويڪيوم چڪ
سينٽ سيرا جو ايلومينا ويڪيوم چڪ 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي Al₂O₃ مان تيار ڪيو ويو آهي جنهن ۾ پريزيشن مشين ٿيل ويڪيوم گرووز شامل آهن. اسان جي پريزيشن گرائنڊنگ جي صلاحيت 0.003mm جي فليٽنس ۽ 0.002mm جي متوازي حاصل ڪري ٿي، ڊائسنگ، پٺئين پاسي گرائنڊنگ، ۽ انسپيڪشن دوران وارپ فري ويفر فڪسيشن کي يقيني بڻائي ٿي. مواد 800°C تائين اعليٰ لچڪدار طاقت (361 MPa)، سختي (16 GPa)، ۽ حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو. 600mm ٻاهرين قطر (OD) تائين گول فارميٽ ۾ ۽ 1500mm ڊيگهه تائين مستطيل شڪلن ۾ موجود آهي. ويڪيوم گرووز مخصوص عمل جي گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ ڪسٽم ڊيزائن (مرڪزي، ريڊيل، يا گرڊ نمونن) ۾ آهن. هر چڪ کي ليزر انٽرفيروميٽر سان معائنو ڪيو ويندو آهي ۽ فليٽنس جي تصديق جي رپورٽ سان فراهم ڪيو ويندو آهي.
وضاحتون (99.8٪ Al جي بنياد تي)₂O₃۽ سينٽ سيرا جي پيداوار جون صلاحيتون):
| ملڪيت | قدر |
| مواد | 99.8٪ ايلومينا (آئيوري) |
| کثافت | 3.93 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| لچڪدار طاقت | 361 ايم پي اي |
| وِڪرز جي سختي | 16 جي پي اي |
| ٻاهرين قطر (وڌ ۾ وڌ) | 600 ملي ميٽر |
| ٿولهه (وڌ ۾ وڌ) | 100 ملي ميٽر |
| ڊيگهه (وڌ ۾ وڌ) | 1500 ملي ميٽر |
| همواري | 0.003 ملي ميٽر |
| متوازيت | 0.002 ملي ميٽر |
| مٿاڇري ختم ڪرڻ | را0.1 |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | 800 ° سي |
درخواستون:
- · ويفر ڊائسنگ ۽ اسڪرائبنگ (200 ملي ميٽر/300 ملي ميٽر ۽ وڏو)
- · پتلي ويفرن جي پوئين پاسي پيسڻ
- · بصري معائنو ۽ جاچ
- · وڏي سبسٽريٽ هينڊلنگ
پيداوار جي درستگي:
- · سڌي: 0.005 ملي ميٽر
- · عمودي: 0.005 ملي ميٽر
- · گولائي: 0.002 ملي ميٽر
- · مرڪوزيت: 0.01 ملي ميٽر








