وارپڊ ۽ ٿلهي ويفر هينڊلنگ لاءِ ڌاتو جي پٺڀرائي وارو پورس سي آءِ سي ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو ڌاتو تي ٻڌل سيرامڪ ويڪيوم چڪ هڪ پورس سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ پرت کي هڪ درست مشين واري ڌاتو جي بنياد (ايلومينيم يا اسٽينلیس اسٽيل) سان گڏ ڪري ٿو. پورس SiC مواد (نيرو-ڪارو، پورسيٽي 35-40٪، پورس سائيز 20-30 μm، پارگميتا 60 ml/cm²·منٽ) پوري ويفر مٿاڇري تي هڪجهڙائي، نرم ويڪيوم ورڇ فراهم ڪري ٿو، ڪنڊ مارڪنگ کي ختم ڪري ٿو ۽ پتلي (≤100 μm) يا وارپڊ ويفرز لاءِ غير رابطي جي مدد کي فعال ڪري ٿو. SiC پرت گهٽ حرارتي توسيع (3.5×10⁻⁶/℃)، 1000°C تائين حرارتي استحڪام، ۽ وچولي لچڪدار طاقت (32-35 MPa) پيش ڪري ٿو. ڌاتو جو بنياد ساخت جي سختي، ٿريڊ سوراخن ذريعي آسان چڙهڻ، ۽ ڀُرندڙ فريڪچر جي خلاف تحفظ شامل ڪري ٿو. هي چڪ پٺئين پاسي پيسڻ، ڊائسنگ، ۽ اعليٰ درجه حرارت جي ويفر پروسيسنگ لاءِ مثالي آهي جتي يونيفارم ويڪيوم ۽ حرارتي مطابقت اهم آهن.
وضاحتون (فراهم ڪيل پورس سي آءِ سي ڊيٽا جي بنياد تي):
| ملڪيت | قدر |
| سيرامڪ مواد | پورس سلڪون ڪاربائيڊ (SiC ≥80٪) |
| رنگ | نيرو-ڪارو |
| پورسيٽي | 35-40٪ |
| پور سائيز | 20-30 مائڪرون |
| کثافت | 2.1-2.3 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| پارگميتا | 60 ايم ايل/سينٽي ميٽر² منٽ |
| لچڪدار طاقت | 32-35 ايم پي اي |
| حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ (25-1000°C) | 3.5×10⁻⁶/℃ |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | 1000 ° سي |
| بجلي جي مزاحمت | 10⁻¹⁰ Ω/cm (في فراهم ڪيل ڊيٽا، عام طور تي پورس SiC لاءِ) |
| ڌاتو جو بنيادي مواد | ايلومينيم 6061 يا اسٽينلیس اسٽيل 304 (اختياري) |
| ڌاتو جي بنياد جي ٿولهه | 10-30 ملي ميٽر (ڪسٽم) |
نوٽ: لچڪدار طاقت پورسيٽي جي ڪري گهاٽي SiC کان گهٽ آهي. ڌاتو جي بنيادي خاصيتون سيرامڪ ٽيبلن مان نه آهن.
درخواستون:
- · پتلي ويفرن جي پوئين پاسي پيسڻ (≤100 μm)
- · ڊائسنگ لاءِ وارپڊ ويفر ماؤنٽنگ
- · تيز گرمي پد واري ويفر چيڪنگ (1000°C تائين)
- · سوراخدار يا نازڪ ذيلي ذخيرن لاءِ ويڪيوم فڪسچرنگ
پيداوار:
پورس سي آءِ سي پليٽ (پور فارمرز سان ٺهيل، سينٽر ٿيل) → فليٽنس ≤10 μm تائين ليپ ٿيل → ويڪيوم پورٽس ۽ ماؤنٽنگ فيچرز سان ٺهيل ڌاتو جو بنياد → ايپوڪسي بانڊنگ يا ميڪيڪل ڪلمپنگ → هيليم ليڪ ٽيسٽ.
معيار جو ضابطو:
- · SEM پاران تصديق ٿيل پورسيٽي ۽ پور سائيز
- · پارگميتا ٽيسٽ (هوا جو وهڪرو)
- · ليزر انٽرفيروميٽر سان ماپيل فليٽنس
- · هيليم جي رسڻ جي شرح <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
گرووڊ يا ڊينس سيرامڪ چڪس تي فائدا:
- · ڪابه ويفر مارڪنگ ناهي - ڊسڪريٽ سوراخن کان سواءِ هڪجهڙو ويڪيوم
- · سوراخن جي پاڻ صفائي - بندش کي گهٽ ڪرڻ
- · وارپڊ ويفرز کي سنڀاليندو آهي (500 μm بو تائين)
- · ڌاتو جو بنياد ڀُرندڙ ڀڃڻ کي روڪي ٿو ۽ انضمام کي آسان بڻائي ٿو
حدون:
- · گھٽ لچڪدار طاقت (32-35 MPa) - اثر لوڊنگ کان بچڻ
- · آپريٽنگ گرمي پد 1000°C (پورس SiC) تائين محدود آهي، پر ڌاتو جو بنياد ايپوڪسي بانڊ ≤200°C تائين محدود آهي جيستائين ميڪانياتي طور تي ڪلمپ نه ڪيو وڃي.
- · هاءِ پريشر ويڪيوم لاءِ نه (پورس ڍانچو وڌ ۾ وڌ ويڪيوم فرق کي محدود ڪري ٿو)
ڪسٽمائيزيشن:
- · ڌاتو جو بنياد: ايلومينيم (هلڪو)، اسٽينلیس سٹیل (سنکنرن جي مزاحمتي)، انور (گهٽ توسيع)
- · بانڊنگ: ايپوڪسي (≤200°C) يا ميڪيڪل ڪلمپ (500°C تائين)
- زون ويڪيوم ڪنٽرول لاءِ ايج سيلنگ رنگ
مهرباني ڪري نوٽ ڪريو: فراهم ڪيل لچڪدار طاقت (32-35 MPa) پورسيٽي جي ڪري گهاٽي سيرامڪس کان گهٽ آهي. ڪنارن جي چپنگ کان بچڻ لاءِ احتياط سان هٿ لڳايو.
