سي وي ڊي / پي وي ڊي پروسيس چيمبرز ٺاهيندڙن ۽ سپلائرز لاءِ ڪسٽم هاءِ پيورٽي ايلومينا سيرامڪ رنگ

سي وي ڊي / پي وي ڊي پروسيس چيمبرز لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا سيرامڪ رنگ

مختصر وضاحت:

سينٽ سيرا جي سيرامڪ رنگ خاص طور تي CVD (ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن) ۽ PVD (فزيڪل وانپ ڊپوزيشن) پروسيس چيمبرز ۾ استعمال لاءِ ٺهيل آهي. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، هي رنگ پلازما کي محدود ڪرڻ ۽ چيمبر جي ڀتين کي ڪٽڻ کان بچائڻ لاءِ چيمبر لائنر، فوڪس رنگ، يا پروسيس ڪٽ جزو طور ڪم ڪري ٿو. مواد بهترين پلازما مزاحمت، اعليٰ ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (15×10⁶ V/m)، ۽ 1600°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو، جارحاڻي فلورين تي ٻڌل پلازما ماحول ۾ ڊگهي سروس لائف کي يقيني بڻائي ٿو. صحيح طول و عرض رواداري (ID/OD تي ±0.05 ملي ميٽر) ۽ فليٽنس (≤10 μm) مسلسل ويفر ايج پوزيشننگ کي فعال ڪن ٿا، جمع ڪرڻ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائين ٿا ۽ ذرات جي پيداوار کي گهٽائين ٿا.

اسان کي اي ميل موڪليو

پيداوار جي تفصيل

پراڊڪٽ ٽيگ

وضاحتون (99.8% Al₂O₃ تي ٻڌل):

ملڪيت	قدر
مواد	99.8٪ ايلومينا (آئيوري)
کثافت	3.93 گرام/سينٽي ميٽر³
پاڻي جذب ڪرڻ	0%
لچڪدار طاقت	361 ايم پي اي
فريڪچر جي سختي	3–4 ايم پي اي · ميٽر¹/²
وِڪرز جي سختي	16 جي پي اي
ينگ جو ماڊيولس	380 جي پي اي
حرارتي چالکائي	32 واٽ/مڪعبي ميٽر
حرارتي توسيع (25-1000 °C)	7.2×10⁻⁶/℃
ڊائي اليڪٽرڪ طاقت	15×10⁶ وي/ميٽر
مخصوص مزاحمت	>10¹⁴ Ω·سينٽي ميٽر
وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد	1600 ° سي

درخواستون:

· سي وي ڊي چيمبر فوڪس رِنگز ۽ ايج رِنگز
· پي وي ڊي چيمبر شيلڊ رِنگ ۽ ڪليمپ رِنگ
· ايچ چيمبر لائنر ۽ ڪَوَر رِنگس
· ڊائي اليڪٽرڪ ايچ سسٽم ۾ پلازما ڪنفينمينٽ رِنگس

پيداوار جو عمل:

آئسو اسٽيٽڪ پريسنگ → گرين مشيننگ → 1600°C تي سينٽرنگ → CNC ID/OD گرائنڊنگ → مٿاڇري ليپنگ → الٽراسونڪ صفائي → 100% CMM انسپيڪشن. الٽرا-سموٿ مٿاڇري ختم (Ra ≤0.4 μm) ذرات جي چپکڻ کي گھٽ ڪري ٿو.

معيار جو ضابطو:

· 100٪ طول و عرض چيڪ (شناخت، او ڊي، ٿولهه، هموار)
· مٿاڇري جي مائڪرو ڪرڪس لاءِ رنگ جي پينيٽرنٽ معائنو
· ASTM D149 جي مطابق ڊائي اليڪٽرڪ طاقت جو امتحان
· 20× خوردبيني هيٺ ڪو به نظر ايندڙ رنگت يا پورسيٽي نه آهي

ڌاتو يا ڪوارٽز رنگن تي فائدا:

· فلورين پلازما ۾ ايلومينيم جي ڇلن کان 5-10× وڌيڪ زندگي
· پتلي فلمن ۾ ڌاتو جي آلودگي نه آهي
· ڪوارٽز کان وڌيڪ پلازما مزاحمت (ڪابه ڪٽائي جا کڏا نه)
· ڊگهي استعمال کان پوءِ به 10¹⁴ Ω·cm کان وڌيڪ بجلي جي موصليت برقرار رکي ٿو

متبادل مواد — سلڪون نائٽرائڊ (Si₃N₄):

انهن ايپليڪيشنن لاءِ جن کي اڃا به وڌيڪ فريڪچر سختي (6.2 MPa·m¹/²) ۽ بهتر حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت (توسیع ڪوفيشنٽ 3.2×10⁻⁶/℃) جي ضرورت آهي، Si₃N₄ رِنگ موجود آهن. جڏهن ته، ايلومينا گھڻن CVD/PVD ايپليڪيشنن لاءِ وڌيڪ قيمتي اثرائتي آهي. آرڊر ڪرڻ وقت مهرباني ڪري مواد جي ترجيح بيان ڪريو.

ڪسٽمائيزيشن: