سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس فڪسچر لاءِ سيرامڪ سپورٽنگ پن
سينٽ سيرا جا سيرامڪ سپورٽنگ پن (جن کي لفٽ پن يا سپورٽ پن پڻ چيو ويندو آهي) سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس چيمبرز ۾ استعمال ڪيا ويندا آهن ته جيئن هٿ ڪرڻ، گرم ڪرڻ، يا کولنگ دوران ويفرز يا سبسٽريٽس کي بلند ڪري سگهجي. 99.8٪ ايلومينا يا سلڪون نائٽرائڊ مان ٺهيل، اهي پن اعليٰ دٻاءُ واري طاقت، حرارتي استحڪام، ۽ ڪيميائي مزاحمت پيش ڪن ٿا. اڌ گول يا فليٽ ٽپ ڊيزائن ويفر کي ڇڪڻ کان روڪي ٿو.
وضاحتون(ايلومينا 99.8٪):
| ملڪيت | قدر |
| مواد | 99.8٪ Al₂O₃ يا Si₃N₄ |
| ڊيگهه | 10 - 100 ملي ميٽر |
| قطر | 1 - 10 ملي ميٽر |
| ٽپ جي شڪل | سڌو، اڌ گول، نوڪدار |
| دٻاءُ واري طاقت (Al₂O₃) | > 2000 ايم پي اي |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد (Al₂O₃) | 1600 ° سي |
| مٿاڇري ختم ڪرڻ | ليپ ٿيل (Ra ≤0.4 μm) |
| قطر تي رواداري | ±0.01 ملي ميٽر |
درخواستون:
سي وي ڊي/پي وي ڊي چيمبرن ۾ لفٽ پن
هاٽ پليٽ بيڪنگ لاءِ سپورٽ پن
پروب ڪارڊ سپورٽ اسٽرڪچر
ڪوارٽز فرنس بوٽ سپورٽ
پيداوار:
او ڊي جي درست سينٽرليس گرائنڊنگ → ٽِپ پروفائل جي هيرن جي گرائنڊنگ → الٽراسونڪ صفائي → 100٪ طول و عرض جي چڪاس.
معيار جو ضابطو:
ڊيگهه/قطر لاءِ سي ايم ايم، ٽپ ريڊيس لاءِ آپٽيڪل ڪمپيريٽر، ڪمپريسيو طاقت جي تصديق لاءِ لوڊ ٽيسٽنگ (في لاٽ بي ترتيب نمونو). ڪابه فيرومگنيٽڪ آلودگي ناهي (مقناطيس سان تصديق ٿيل).
ڌاتو يا ڪوارٽز پنن تي فائدا:
اسٽينلیس اسٽيل کان 5 ڀيرا وڌيڪ زندگي
پروسيس چيمبر ۾ ڪا به ڌاتو آلودگي ناهي
ڪوارٽز کان وڌيڪ گرمي پد جي صلاحيت (1600°C بمقابله 1100°C)
نان-اسٽڪ مٿاڇري (گهٽجي ويل ذرڙن جي چپکڻ)
ڪسٽمائيزيشن:
گھڻا ٽپ پروفائل، ٿريڊڊ بيس، يا ٽيپرڊ شافٽ.
اسان انتهائي پلازما ماحول لاءِ SiC پن پڻ فراهم ڪندا آهيون.
