سي وي ڊي/پي وي ڊي شاور هيڊ لاءِ ايلومينا گيس ڊسٽريبيوشن پليٽ
سينٽ سيرا جي گيس ڊسٽريبيوشن پليٽ (شاور هيڊ) اعليٰ پاڪائي 99.8٪ ايلومينا سيرامڪ مان تيار ڪيل آهي. ان ۾ مائڪرو هولز (قطر 0.3-1.5 ملي ميٽر) جي هڪ صف شامل آهي جيڪا CVD، PVD، يا ALD عملن دوران ويفر جي مٿاڇري تي هڪجهڙائي واري گئس جي وهڪري کي يقيني بڻائي ٿي. پليٽ جي اعليٰ ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (>15×10⁶ V/m) ۽ پلازما مزاحمت ان کي سيمي ڪنڊڪٽر پتلي فلم جمع ڪرڻ لاءِ ضروري بڻائي ٿي.
وضاحتون:
| ملڪيت | قدر |
| مواد | 99.8٪ Al₂O₃ يا SiC |
| قطر | 100 - 1500 ملي ميٽر (گول) يا مستطيل |
| ٿولهه | 5 - 20 ملي ميٽر |
| سوراخ جو قطر | 0.3 - 1.5 ملي ميٽر |
| سوراخ جو نمونو | ڪسٽم (ٽڪنڊي، چورس، ريڊيل) |
| همواري | پوري علائقي تي ≤10 μm |
| مٿاڇري جي خرابي | را ≤0.6 μm (گيس پاسي) |
| کليل علائقي جو تناسب | 5-15٪ |
درخواستون:
PECVD شاور هيڊ پليٽون
ALD گيس انجيڪٽرز
ايچ چيمبر گيس ورهائڻ واريون پليٽون
MOCVD ري ايڪٽر جا جزا
پيداوار:
ايلومينا سبسٽريٽ فليٽ ليپ ٿيل → هيرن سان ڍڪيل اوزارن سان سي اين سي ڊرلنگ (سوراخ پوزيشن رواداري ±0.02 ملي ميٽر) → ڊيبرنگ → الٽراسونڪ صفائي → ڪلاس 100 پيڪنگنگ.
معيار جو ضابطو:
هر پليٽ جو سوراخ جي سائيز (وژن سسٽم)، فليٽنس (ليزر انٽرفيروميٽر)، ۽ گئس جي وهڪري جي هڪجهڙائي (پريشر ميپنگ) لاءِ 100٪ معائنو ڪيو ويندو آهي. 20x مائڪروسڪوپ هيٺ ڪو به مائڪرو ڪرڪس نه آهي.
ڌاتو پليٽن تي فائدا:
پتلي فلمن ۾ ڪا به ڌاتوئي آلودگي ناهي
ذرڙن جي گھٽ پيداوار (ڪوبه corrosion فلڪس نه)
جارحاڻي صفائي پلازما (CF₄، NF₃) کي برداشت ڪري ٿو.
ڪسٽم خاصيتون:
پٺئين پاسي گيس چينل، ڪائونٽر بور ٿيل سوراخ، ڪنڊ سيل، ۽ مختلف مواد گريڊ (وڌيڪ حرارتي چالکائي لاءِ SiC، پلازما مزاحمت لاءِ Y₂O₃ ڪوٽنگ).
اسان پيداوار کان اڳ CAD جي تصديق ۽ وهڪري جي تخليق فراهم ڪندا آهيون.
