سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر - اعليٰ درجه حرارت واري ويفر هينڊلنگ لاءِ اعليٰ سختي
سينٽ سيرا جو SiC سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر S1111 بيچ مواد استعمال ڪندي اعليٰ پاڪائي واري سلڪون ڪاربائيڊ (SiC مواد 99.72٪، مفت Si 0.05٪) مان تيار ڪيو ويو آهي. اهو غير معمولي ميڪيڪل خاصيتون پيش ڪري ٿو: لچڪدار طاقت 449 MPa (ماپيل)، لچڪدار ماڊيولس 457 GPa (ماپيل)، ۽ وِڪرز سختي 25-28 GPa (عام). گهٽ کثافت (3.10-3.15 g/cm³، عام) هڪ اعليٰ مخصوص سختي فراهم ڪري ٿي، جيڪا تيز رفتار ويفر ٽرانسفر روبوٽس لاءِ مثالي آهي. 120-150 W/m·K (عام) جي حرارتي چالکائي ۽ 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (عام) جي حرارتي توسيع جي کوٽائي سان، هي اينڊ ايفيڪٽر مؤثر طريقي سان گرمي کي ختم ڪري ٿو ۽ اعليٰ درجه حرارت جي سنڀال دوران طول و عرض جي استحڪام کي برقرار رکي ٿو (1600-1700 ° C تائين، ڪو به لوڊ نه). ڪارو/گرين رنگ ۽ صفر پاڻي جذب صاف ڪمري جي مطابقت کي يقيني بڻائي ٿو.
وضاحتون(فراهم ڪيل SiC S1111 ٽيسٽ رپورٽ ۽ عام قدرن جي بنياد تي)):
| ملڪيت | قدر |
| مواد | سي آءِ سي (99.72٪ سي آءِ سي، 0.05٪ مفت سي آءِ) |
| رنگ | ڪارو/ڀورو |
| کثافت | 3.10–3.15 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| پاڻي جذب ڪرڻ | 0% |
| لچڪدار طاقت | 449 ايم پي اي (سراسري) |
| فريڪچر جي سختي | 3.12 ايم پي اي · ميٽر¹/² (سراسري) |
| لچڪدار ماڊيولس | 457 جي پي اي |
| وِڪرز جي سختي | 25-28 جي پي اي |
| حرارتي چالکائي (25°C) | 120-150 واٽ/ميليٽر ڪلو |
| سي ٽي اي (25-1000 ڊگري سينٽي گريڊ) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| وڌ ۾ وڌ استعمال جي درجه حرارت (ڪوبه لوڊ نه) | 1600-1700 °C |
درخواستون:
● تيز گرمي پد واري ويفر هينڊلنگ (پوسٽ اينيل، آر ٽي پي، ايپيٽيڪسي)
● پلازما ايچ چيمبرز جن کي تيز ڪٽڻ جي مزاحمت جي ضرورت آهي
● تيز رفتار منتقلي روبوٽ (هلڪو وزن، تيز سختي)
پيداوار:
SiC پائوڊر سينٽرنگ → بازو پروفائل ۽ ماؤنٽنگ خاصيتن جي درست CNC گرائنڊنگ → مٿاڇري جي ليپنگ → الٽراسونڪ صفائي. ويڪيوم ايپليڪيشنن لاءِ 100٪ طول و عرض جي چڪاس ۽ هيليم ليڪ ٽيسٽ.
معيار جو ضابطو:
● ڊيگهه، ويڪر، ۽ لوڻ جو سي ايم ايم معائنو
● في بيچ لچڪدار طاقت ٽيسٽ (في ٽيسٽ رپورٽ معيار)
● مٿاڇري جي خرابين لاءِ خوردبيني هيٺ بصري معائنو.
ايلومينا يا ڌاتو تي فائدا:
● 2× وڌيڪ لچڪدار ماڊيولس (457 بمقابلہ الومينا لاءِ ~380 GPa) - گهٽ موڙ.
● 3× وڌيڪ حرارتي چالکائي - تيز گرمي جي گھٽتائي
● هوا ۾ ايلومينيم جي 800 ° C جي مقابلي ۾ > 1600 ° C برداشت ڪري ٿو.
● فولاد کان گھٽ کثافت - 40٪ وزن گھٽائڻ
ڪسٽمائيزيشن:
ڊيگهه 150-450 ملي ميٽر، ٽپ شڪلون (ايج گرپ، برنولي، فليٽ)، OEM ڊرائنگ مطابق ماؤنٽنگ فلانج نمونا.
*مٿي ڏنل سڀ ميڪيڪل ڊيٽا فراهم ڪيل ٽيسٽ رپورٽ (بيچ S1111) مان اچي ٿو. حرارتي ۽ سختي جا قدر هن SiC گريڊ لاءِ عام آهن؛ مهرباني ڪري لاٽ-مخصوص سرٽيفڪيشن لاءِ اسان سان رابطو ڪريو.*
