تيز گرمي پد ۽ پلازما ماحول لاءِ سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) تي ٻڌل ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو SiC تي ٻڌل سيرامڪ چڪ اعليٰ پاڪائي واري سلڪون ڪاربائيڊ (بيچ S1111، SiC 99.72٪، مفت Si 0.05٪) مان تيار ڪيو ويو آهي. اهو 449 MPa جي ماپيل لچڪدار طاقت، 3.12 MPa·m¹/² جي فريڪچر سختي، ۽ 457 GPa جو لچڪدار ماڊيولس فراهم ڪري ٿو. مواد جي عام حرارتي چالکائي (120–150 W/m·K) ۽ گهٽ حرارتي توسيع (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) حرارتي سائيڪلنگ دوران تيز گرمي پد جي ريمپنگ ۽ گهٽ ۾ گهٽ ويفر وار پيج کي فعال ڪري ٿي. چڪ کي هڪ پورس ويڪيوم چڪ (يونيفارم گيس فلو) يا هڪ گروو ٿيل معياري چڪ جي طور تي ترتيب ڏئي سگهجي ٿو. 1600–1700 ° C (ڪو به لوڊ نه) ۽ غير معمولي پلازما ايروشن مزاحمت جي وڌ ۾ وڌ استعمال جي درجه حرارت سان، هي چڪ اعليٰ درجه حرارت جي ويفر پروسيسنگ (اينيلنگ، RTP) ۽ جارحاڻي ايچ چيمبرن لاءِ مثالي آهي جتي ايلومينا چڪ خراب ٿين ٿا.
وضاحتون(فراهم ڪيل SiC S1111 ٽيسٽ رپورٽ ۽ عام قدرن جي بنياد تي)):
| ملڪيت | قدر |
| مواد | سي آءِ سي (99.72٪ سي آءِ سي، 0.05٪ مفت سي آءِ) |
| کثافت | 3.10–3.15 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| پاڻي جذب ڪرڻ | 0% |
| لچڪدار طاقت | 449 ايم پي اي |
| فريڪچر جي سختي | 3.12 ايم پي اي · ميٽر¹/² |
| لچڪدار ماڊيولس | 457 جي پي اي |
| وِڪرز جي سختي | 25-28 جي پي اي |
| حرارتي چالکائي | 120-150 واٽ/ميليٽر ڪلو |
| سي ٽي اي (25-1000 ڊگري سينٽي گريڊ) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| وڌ ۾ وڌ استعمال جي درجه حرارت (ڪوبه لوڊ نه) | 1600-1700 °C |
| هموار (300 ملي ميٽر کان وڌيڪ) | ≤5 μm |
| مٿاڇري ختم ڪرڻ | را ≤0.4 μm (ليپ ٿيل) |
درخواستون:
● تيز گرمي پد تي چڪنگ (اينيلنگ، آر ٽي پي، ايپيٽيڪسيل واڌ)
● پلازما ايچ چڪ، تيز فلورين مزاحمت سان
● هڪجهڙي گرمي/ٿڌائي سان پتلي ويفر هينڊلنگ
● غير رابطي واري ويفر سپورٽ لاءِ پورس چڪ
پيداوار:
SiC سنٽرنگ → فليٽنس ۽ مٿاڇري جي پروفائيل جي درستي سان پيسڻ → اختياري پورس ڍانچي جي ٺهڻ (ويڪيوم چيڪ لاءِ) → ليپنگ → الٽراسونڪ صفائي. هر چيڪ کي فليٽنس (ليزر انٽرفيروميٽر) ۽ ويڪيوم يونيفارمي (فلو ٽيسٽ) لاءِ 100٪ معائنو ڪيو ويندو آهي.
معيار جو ضابطو:
● سي ايم ايم جي طول و عرض جي چڪاس (قطر، ٿولهه، سوراخ جي پوزيشن)
● ASTM جي مطابق فليٽنس جي ماپ
● هيليم ليڪ ٽيسٽ (ويڪيوم چڪس لاءِ)
● في بيچ لچڪدار طاقت جي تصديق (حوالو ٽيسٽ رپورٽ)
ايلومينا چڪس تي فائدا:
● وڌيڪ حرارتي چالکائي (ايلومينا لاءِ 120-150 بمقابله 32 W/m·K) - 4× تيز گرمي جي منتقلي.
● گهٽ CTE (4.0 بمقابله 7.2×10⁻⁶/℃) - ويفر ٿرمل دٻاءُ گھٽائي ٿو.
● اعليٰ پلازما مزاحمت - فلورين ايچ ۾ 10 × وڌيڪ زندگي گذاريندڙ
● وڌ ۾ وڌ استعمال جي درجه حرارت (ايلومينيم لاءِ 1600 ° C بمقابله 800 ° C)
ڪسٽمائيزيشن:
● سوراخ يا نالي واري مٿاڇري
● قطر 100-450 ملي ميٽر، گول يا چورس
● ايج سيلنگ انگوزي يا زون ويڪيوم ورهاڱي
● تيز سختي واري چڙهڻ لاءِ ڌاتو جي پٺڀرائي جو اختيار
مٿي ڏنل سڀ ميڪيڪل ڊيٽا فراهم ڪيل ٽيسٽ رپورٽ (بيچ S1111) مان اچي ٿو. هن SiC گريڊ لاءِ حرارتي ۽ سختي جا قدر عام آهن. پورس SiC چڪس کي اضافي پروسيسنگ جي ضرورت آهي؛ مهرباني ڪري مخصوص پورسيٽي ۽ پور سائيز جي دستيابي لاءِ پڇا ڳاڇا ڪريو.
