300mm ويفر پروسيسنگ لاءِ 12 انچ ايلومينا ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو 12 انچ ويڪيوم چڪ 300 ملي ميٽر ويفر هينڊلنگ لاءِ 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان درستگي سان انجنيئر ٿيل آهي. چڪ ۾ هڪ نفيس نالي واري مٿاڇري (نالي ويڪر 0.5-1.0 ملي ميٽر، پچ 2-3 ملي ميٽر) آهي ته جيئن پوري 300 ملي ميٽر قطر ۾ هڪجهڙائي ويڪيوم ورڇ کي يقيني بڻائي سگهجي. 5 μm اندر فليٽنس برقرار رکيو ويندو آهي، جيڪو ڊائسنگ، پٺئين پاسي پيسڻ، ۽ معائني دوران وارپ فري ويفر فڪسيشن کي فعال بڻائيندو آهي. مواد جي اعليٰ لچڪدار طاقت (361 MPa) ۽ سختي (16 GPa) بار بار ويڪيوم چڪرن جي تحت به ڊگهي مدت جي طول و عرض جي استحڪام جي ضمانت ڏئي ٿي.
وضاحتون (99.8% Al₂O₃ جي بنياد تي):
| ملڪيت | قدر |
| قطر | 300 ملي ميٽر (12 انچ) |
| مواد | 99.8٪ ايلومينا (آئيوري) |
| کثافت | 3.93 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| لچڪدار طاقت | 361 ايم پي اي |
| وِڪرز جي سختي | 16 جي پي اي |
| هموار (300 ملي ميٽر کان وڌيڪ) | ≤5 μm |
| نالي جي ويڪر | 0.5-1.0 ملي ميٽر |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | 800 ° سي |
| ڊائي اليڪٽرڪ طاقت | 15×10⁶ وي/ميٽر |
درخواستون:
300 ملي ميٽر ويفر ڊائسنگ ۽ اسڪرائبنگ
ويفر جي پوئين پاسي پيسڻ (پتلي ويفر سپورٽ)
آپٽيڪل انسپيڪشن ۽ جاچ
عارضي بانڊنگ/ڊي بانڊنگ چڪس
پيداوار:
سي اين سي گرائونڊ ڪيو ويو ۽ آخري فليٽنس تائين ليپ ڪيو ويو، هيرن جي ڦيڻن سان گروو ڪيو ويو، الٽراسونڪ طور تي صاف ڪيو ويو، ۽ ڪلاس 100 ڪلين روم ۾ پيڪ ڪيو ويو. هر چيڪ کي فليٽنس (ليزر انٽرفيروميٽر) ۽ گروو ڊيپٿ (پروفائيلوميٽر) لاءِ 100٪ معائنو ڪيو ويو آهي.
فائدا:
گھٽ ذرڙن جي پيداوار (≤0.05 ذرڙا/cm²)
محلولن ۽ تيزابن لاءِ ڪيميائي طور تي غير فعال
ESD-محفوظ مٿاڇري (مزاحمت >10¹³ Ω·cm)
ڪسٽم ويڪيوم هول جا نمونا ۽ پوئين پاسي وارا بندرگاه موجود آهن.
