پتلي ويفر هينڊلنگ لاءِ ايلومينا تي ٻڌل پورس سيرامڪ ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو ايلومينا تي ٻڌل پورس چڪ 99.6٪ هاءِ-پيوريٽي Al₂O₃ مان ٺهيل آهي جنهن ۾ 30-45٪ جي ڪنٽرول ٿيل اوپن پورسيٽي ۽ 10 کان 50 μm تائين هڪجهڙائي واري پورس سائيز آهي. گروو ٿيل چڪن جي برعڪس، پورس مٿاڇري پوري ويفر جي پٺئين پاسي ورهايل ويڪيوم فراهم ڪري ٿي، ڪنڊ مارڪنگ کي ختم ڪري ٿي ۽ الٽرا پتلي (≤100 μm) يا وارپڊ ويفرز جي نرم هولڊنگ کي فعال بڻائي ٿي. مواد لچڪدار طاقت ≥250 MPa ۽ هوا ۾ 400°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو.
وضاحتون(99.6٪ Al جي بنياد تي)₂O₃):
| ملڪيت | قدر |
| مواد | 99.6٪ ايلومينا (اڇو) |
| پورسيٽي | 30-45٪ (ايڊجسٽبل) |
| وچولي پور سائيز | 10-50 مائڪرون |
| لچڪدار طاقت | ≥250 ايم پي اي |
| کثافت | 3.88 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| هموار (200 ملي ميٽر کان وڌيڪ) | ≤5 μm |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | 400 °C (هوا) |
| مٿاڇري ختم ڪرڻ | ليپ ٿيل (Ra ≤0.8 μm) |
درخواستون:
- · پتلي ويفر (≤50 μm) پوئين پاسي پيسڻ
- · ڊائسنگ لاءِ وارپڊ ويفر ماؤنٽنگ
- · سنگل ڊائي پڪ اپ
- · شيشي جي سبسٽريٽ سنڀالڻ
پيداوار:
پائوڊر کي پور فارمرز سان ملايو ويو → آئوسٽيٽڪ پريسنگ → 1600°C تي سينٽرنگ → آخري ٿلهي تائين ليپنگ. هر چڪ کي ويڪيوم يونيفارمي (پريشر ڊيويئيشن <5%) لاءِ فلو ٽيسٽ ڪيو ويندو آهي ۽ پور سائيز ورڇ (SEM) لاءِ معائنو ڪيو ويندو آهي.
روايتي چڪن جي ڀيٽ ۾ فائدا:
- · ڪو به ويفر بيڪ سائڊ مارڪنگ يا ڊائي شفٽ ناهي
- · 500 μm تائين بو سان ويفرز کي رکي ٿو
- · پاڻمرادو صفائي ڪندڙ مٿاڇري (سوراخ بند ٿيڻ جي مزاحمت ڪن ٿا)
- · هڪجهڙائي واري مدد مقامي دٻاءُ کي ختم ڪري ٿي
Cڪسٽمائيزيشن:
گول يا چورس شڪلون، قطر 100-450 ملي ميٽر. زون ٿيل ويڪيوم ڪنٽرول لاءِ ايج سيلنگ رنگ موجود آهي.
پنھنجي مخصوص ويفر سائيز لاءِ ھڪ نمونو گھرو.
