برنولي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر - پتلي ۽ نازڪ ويفرز لاءِ غير رابطي واري ويفر هينڊلنگ

سينٽ سيرا جو برنولي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر جسماني رابطي کان سواءِ ويفرز کي سنڀالڻ لاءِ ايروڊائينامڪ لفٽ استعمال ڪري ٿو. اعليٰ پاڪائي 99.8٪ ايلومينا (Al₂O₃) يا سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) مان ٺهيل، ان ۾ درستگي سان ٺهيل نوزلز شامل آهن جيڪي پريشر ٿيل گئس کي خارج ڪن ٿا ته جيئن اينڊ ايفيڪٽر ۽ ويفر جي وچ ۾ هڪ پتلي هوائي فلم ٺاهي سگهجي. هي غير رابطي وارو اصول پوئين پاسي جي آلودگي، ڪنڊ چپنگ، ۽ مٿاڇري جي نقصان کي ختم ڪري ٿو، ان کي پتلي (≤100 μm)، نازڪ، يا وارپڊ ويفرز لاءِ مثالي بڻائي ٿو. سيرامڪ سبسٽريٽ اعلي لچڪدار طاقت (Al₂O₃ لاءِ 361 MPa؛ SiC لاءِ 550-600 MPa تائين)، گهٽ ماس، ۽ بهترين طول و عرض استحڪام فراهم ڪري ٿو، تيز رفتار ويفر ٽرانسفر روبوٽس ۾ ورجائي سگهڻ واري پوزيشن کي يقيني بڻائي ٿو.

مواد تي نوٽ:ايلومينا (Al₂O₃) سيمي ڪنڊڪٽر ويفر هينڊلنگ ۾ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرز لاءِ سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ مواد آهي ڇاڪاڻ ته ان جي سختي، برقي موصليت، ڪيميائي استحڪام، ۽ قيمت جي اثرائتي جي بهترين ميلاپ جي ڪري. سلڪون ڪاربائڊ (SiC) سڀ کان وڌيڪ گهربل ايپليڪيشنن لاءِ وڌيڪ حرارتي چالکائي، وڌيڪ سختي، ۽ اڃا به بهتر لباس مزاحمت پيش ڪري ٿو. جڏهن ته يٽريا-اسٽيبلائيزڊ زرڪونيا (ZrO₂) ڪمري جي حرارت تي اعلي فريڪچر سختي پيش ڪري ٿو، ان جي اعلي کثافت ۽ مختلف حرارتي توسيع خاصيتن جي ڪري هن ايپليڪيشن ۾ گهٽ عام طور تي استعمال ڪيو ويندو آهي؛ ان کي مخصوص حالتن لاءِ غور ڪري سگهجي ٿو جتي غير معمولي فريڪچر سختي جي ضرورت آهي. مهرباني ڪري مواد جي چونڊ جي رهنمائي لاءِ اسان جي ٽيڪنيڪل ٽيم سان صلاح ڪريو.

وضاحتون(99.8٪ Al جي بنياد تي)₂O₃):

آپريٽنگ اصول:

دٻيل هوا يا نائٽروجن (0.2-0.6 MPa) اندروني چينلن ذريعي فراهم ڪئي ويندي آهي ۽ درست نوزل ​​ذريعي نڪرندي آهي. تيز هوا جو وهڪرو اينڊ ايفڪٽر (برنولي اثر) جي مٿان هڪ گهٽ دٻاءُ وارو زون ٺاهيندو آهي، جيڪو کڻڻ واري قوت پيدا ڪندو آهي جيڪو 50-200 μm جي وقفي تي ويفر کي سپورٽ ڪندو آهي. ڪو به ويڪيوم سوراخ يا پيڊ ويفر جي پوئين پاسي سان رابطو نه ڪندا آهن.

درخواستون:

• · پوئين پاسي پيسڻ کان پوءِ پتلي ويفر (≤50 μm) هٿ ڪرڻ
• · وارپڊ ويفر ٽرانسپورٽ (مثال طور، سي وي ڊي يا اينيلنگ کان پوءِ)
• · سولر سيل ۽ ايل اي ڊي نيلم سبسٽريٽ ٽرانسفر
• · صاف ڪمري جي خودڪاري کي صفر پارٽيڪل جنريشن جي ضرورت آهي
• · ڊسپلي جي پيداوار ۾ شيشي جي پينل جي سنڀال

پيداوار جو عمل:

سيرامڪ سبسٽريٽ کي اعليٰ پاڪائي واري پائوڊر → گئس چينلز ۽ نوزل ​​سوراخن جي 5-محور سي اين سي مشيننگ (قطر 0.3-1.0 ملي ميٽر، رواداري ±0.01 ملي ميٽر) → سطح جي ليپنگ Ra ≤0.4 μm تائين → الٽراسونڪ صفائي → هيليم ليڪ ٽيسٽ (گيس چينلز). ڪو به ڪوٽنگ گهربل ناهي - ننگي سيرامڪ مٿاڇري ڪيميائي طور تي غير فعال ۽ غير آلودگي آهي.

معيار جو ضابطو:

• · نوزل ​​جي پوزيشن، بازو جي ڊيگهه، ۽ همواريءَ جو 100٪ طول و عرض معائنو (سي ايم ايم)
• · هوا جي وهڪري جي هڪجهڙائي ٽيسٽ: سڀني نوزلن ۾ دٻاءُ جي گهٽتائي ≤5٪
• · ليڪ ٽيسٽ: گئس چينلز 0.6 ايم پي اي تي سيل ڪيا ويا، 30 سيڪنڊن کان وڌيڪ دٻاءُ ۾ گهٽتائي نه آئي
• · 20× خوردبيني هيٺ بصري معائنو، مائڪرو-ڪراڪن يا burrs لاءِ

Aروايتي رابطي جي آخري اثرن تي فائدا:

• · صفر ويفر پوئين پاسي آلودگي - ڪوبه ميڪيڪل رابطو نه
• · پتلي ويفرز جي ڪنارن تي ڪا به چِپنگ يا ٽٽڻ نه
• · مستحڪم خال سان وارپڊ ويفرز (1 ملي ميٽر بو تائين) کي سنڀاليندو آهي.
• · ويڪيوم جنريٽر ۽ پورس چڪ جي سار سنڀال کي ختم ڪري ٿو
• · سيرامڪ جي تعمير پائڻ ۽ ڪيميائي حملي جي مزاحمت ڪري ٿي

ڪسٽمائيزيشن:

• · 200 ملي ميٽر، 300 ملي ميٽر، يا ڪسٽم ويفر سائيز لاءِ موجود آهي.
• · گئس نوزل ​​جا نمونا: سڌا، زاويه، يا وورٽيڪس قسم
• · مواد: ايلومينيا (معياري) يا سلڪون ڪاربائيڊ (وڌيڪ حرارتي چالکائي ۽ لباس مزاحمت لاءِ)
• · بازو جي ڊيگهه، چڙهندڙ فلانج، ۽ گئس پورٽ جي جڳهه في OEM ڊرائنگ

حدون:

برنولي اصول جي عملدرآمد (نوزل ڊيزائن، ايئر گيپ) مهيا ڪيل مادي ملڪيت جي جدولن جي دائري کان ٻاهر آهي. مٿي ڏنل ميڪيڪل ۽ حرارتي خاصيتون 99.8٪ Al₂O₃ لاءِ فراهم ڪيل ڊيٽا شيٽس جي سختي سان پيروي ڪن ٿيون. انهن مادي خاصيتن جي بنياد تي دٻاءُ واري گئس جي وهڪري هيٺ سيرامڪ جي ڪارڪردگي جي خرابي جي توقع ناهي. گئس جي وهڪري سان حساس ويفرز لاءِ (مثال طور، نازڪ بناوتن سان MEMS)، گئس پريشر ۽ نوزل ​​ڊيزائن کي مطابق ترتيب ڏيڻ گهرجي.