پلازما ايچ ۽ سي وي ڊي سسٽم لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا چيمبر فوڪس رنگ

سينٽ سيرا جو چيمبر فوڪس رنگ هڪ نازڪ پروسيس ڪٽ جزو آهي جيڪو پلازما ايچ، سي وي ڊي، ۽ پي وي ڊي سيمي ڪنڊڪٽر سامان ۾ استعمال ٿيندو آهي. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، رنگ پلازما کي محدود ڪرڻ ۽ آئن اينگولر ورڇ کي بهتر بڻائڻ لاءِ ويفر ايج کي گهيرو ڪري ٿو، ان ڪري ويفر جي مٿاڇري تي ايچ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائي ٿو. مواد غير معمولي پلازما مزاحمت، اعلي ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (15×10⁶ V/m)، ۽ 1600°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو، جارحاڻي فلورين- يا ڪلورين تي ٻڌل پلازما ماحول ۾ ڊگهي مدت جي اعتبار کي يقيني بڻائي ٿو. درستگي-گرائونڊ ID/OD ۽ فليٽنس (≤10 μm) صحيح ويفر ايج پوزيشننگ کي فعال ڪن ٿا، ايج جي خرابين ۽ ذرڙن جي پيداوار کي گهٽائي ٿو.

وضاحتون(99.8٪ Al جي بنياد تي)₂O₃):

درخواستون:

• · ڊائي اليڪٽرڪ ايچ چيمبر فوڪس رِنگس (آڪسائيڊ، نائٽرائڊ ايچ)
• · سلڪون ايچ چيمبر ايج رِنگس
• · سي وي ڊي چيمبر پروسيس ڪٽ رِنگز
• · پي وي ڊي چيمبر شيلڊ ۽ ڪلمپ رِنگز

پيداوار جو عمل:

اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا پائوڊر کي آئسوسٽيٽيڪل طور تي دٻايو ويندو آهي → سائي مشين کي ويجهو نيٽ شڪل تائين → 1600°C تي سينٽر ڪيو ويندو آهي → ID، OD، ۽ ٿولهه جي CNC هيرن جي پيسڻ → ليپنگ ≤10 μm برابري حاصل ڪرڻ لاءِ → الٽراسونڪ صفائي → 100% CMM معائنو. مٿاڇري جي ختم ٿيڻ Ra ≤0.4 μm ذرات جي چپکڻ کي گھٽ ڪري ٿو.

معيار جو ضابطو:

• · 100٪ طول و عرض جو معائنو (شناخت، او ڊي، ٿولهه، متوازي)
• · مائڪرو ڪرڪس لاءِ ڊائي پينيٽرنٽ ٽيسٽ (ڪابه ڪرڪس جي اجازت ناهي)
• · 20× خوردبيني هيٺ بصري معائنو - ڪابه چپس، خالي جاءِ، يا رنگت نه.
• · ASTM D149 (نموڻ) جي مطابق ڊائي اليڪٽرڪ طاقت جو امتحان

سلڪون يا ڪوارٽز فوڪس رنگن تي فائدا:

• · فلورو ڪاربن پلازما ۾ 5-10× وڌيڪ زندگي
• · ويفرز کي آلوده ڪرڻ لاءِ ڪو به استعمال لائق ڪٽڻ وارو ذرڙو نه آهي
• · وڌيڪ ڊائي اليڪٽرڪ طاقت آرسنگ کي روڪي ٿي
• · هزارين آر ايف ڪلاڪن دوران برابري ۽ طول و عرض جي درستگي برقرار رکي ٿو.

متبادل مواد — يٽريا-اسٽيبلائيزڊ زرڪونيا (ZrO₂):

انهن ايپليڪيشنن لاءِ جن کي وڌيڪ فريڪچر سختي جي ضرورت هوندي آهي (مثال طور، بار بار حرارتي سائيڪلنگ يا ميڪيڪل جھٽڪو سان چيمبر)، ZrO₂ فوڪس رِنگز (کثافت 6.03 g/cm³، لچڪدار طاقت 1000 MPa، فريڪچر سختي 5-8 MPa·m¹/²) موجود آهن. بهرحال، ايلومينا بهتر قيمت جي اثرائتي پيش ڪري ٿي ۽ اڪثر فوڪس رنگ ايپليڪيشنن لاءِ انڊسٽري معيار آهي.

ڪسٽمائيزيشن:

• · گراهڪ جي ڊرائنگ مطابق قدمن جا پروفائل، ڪائونٽر بور، يا چڙهندڙ سوراخ
• · Y₂O₃ ڪوٽنگ پلازما جي ڪٽائي جي مزاحمت لاءِ (ٿولهه 20-100 μm)
• · حصو نمبر، تاريخ ڪوڊ، يا ترتيب جي نشانن جي ليزر مارڪنگ

نوٽ:سڀ ڊيٽا سختي سان فراهم ڪيل Al₂O₃ پراپرٽي ٽيبل جي پيروي ڪري ٿو. ZrO₂ وضاحتن لاءِ، فراهم ڪيل زرڪونيا ڊيٽا شيٽ جو حوالو ڏيو. فوڪس رنگ ڊيزائن کي پيٽنٽ ڪليئرنس جي ضرورت ٿي سگھي ٿي - گراهڪ دانشورانه ملڪيت جي حقن جي تصديق ڪرڻ جا ذميوار آهن.