-
ويفر هينڊلنگ لاءِ اعليٰ پاڪائي وارو ايلومينا سيرامڪ روبوٽ بازو
سينٽ سيرا جو ايلومينا سيرامڪ روبوٽ بازو 99.8٪ اعليٰ پاڪائي واري Al₂O₃ (ايلومينا) مان تيار ڪيل آهي. اهو غير معمولي لچڪدار طاقت (361 MPa)، اعليٰ سختي (16 GPa)، ۽ گهٽ کثافت (3.93 g/cm³) کي گڏ ڪري ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ سيمي ڪنڊڪٽر ويفر منتقلي لاءِ هڪ هلڪو پر سخت بازو پيدا ٿئي ٿو. مواد جو حرارتي توسيع ڪوئفيشنٽ (7.2×10⁻⁶/°C) سلڪون سان ويجهڙائي سان ملندو آهي، پروسيسنگ دوران حرارتي بي ترتيب کي گهٽائيندو آهي.
-
برنولي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر - پتلي ۽ نازڪ ويفرز لاءِ غير رابطي واري ويفر هينڊلنگ
سينٽ سيرا جو برنولي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر جسماني رابطي کان سواءِ ويفرز کي سنڀالڻ لاءِ ايروڊائينامڪ لفٽ استعمال ڪري ٿو. اعليٰ پاڪائي 99.8٪ ايلومينا (Al₂O₃) يا سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) مان ٺهيل، ان ۾ درستگي سان ٺهيل نوزلز شامل آهن جيڪي پريشر ٿيل گئس کي خارج ڪن ٿا ته جيئن اينڊ ايفيڪٽر ۽ ويفر جي وچ ۾ هڪ پتلي هوائي فلم ٺاهي سگهجي. هي غير رابطي وارو اصول پوئين پاسي جي آلودگي، ڪنڊ چپنگ، ۽ مٿاڇري جي نقصان کي ختم ڪري ٿو، ان کي پتلي (≤100 μm)، نازڪ، يا وارپڊ ويفرز لاءِ مثالي بڻائي ٿو. سيرامڪ سبسٽريٽ اعلي لچڪدار طاقت (Al₂O₃ لاءِ 361 MPa؛ SiC لاءِ 550-600 MPa تائين)، گهٽ ماس، ۽ بهترين طول و عرض استحڪام فراهم ڪري ٿو، تيز رفتار ويفر ٽرانسفر روبوٽس ۾ ورجائي سگهڻ واري پوزيشن کي يقيني بڻائي ٿو.
-
ٽيفلون ڪوٽيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر - حساس ويفر هينڊلنگ لاءِ نان اسٽڪ مٿاڇري
سينٽ سيرا جو ٽيفلون (PTFE) ڪوٽيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر هڪ اعليٰ طاقت واري ايلومينا سبسٽريٽ کي هڪ يونيفارم، گهٽ رگڙ واري PTFE ڪوٽنگ (ٿلهائي 15-30 μm) سان گڏ ڪري ٿو. ڪوٽنگ رگڙ جو انتهائي گهٽ ڪوئفيشينٽ (≤0.1)، بهترين ڪيميائي مزاحمت، ۽ نان اسٽڪ خاصيتون مهيا ڪري ٿي، ويفر جي چپکڻ کي روڪي ٿي ۽ پٺيءَ جي آلودگي کي ختم ڪري ٿي. هيٺيون سيرامڪ سبسٽريٽ (99.8% Al₂O₃) اعليٰ لچڪدار طاقت (361-1000 MPa)، لباس مزاحمت، ۽ 260°C (ڪوٽنگ جي حد) تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو. هي اينڊ ايفيڪٽر نازڪ، پتلي، يا چپچپا ويفرز کي سنڀالڻ لاءِ مثالي آهي (مثال طور، فوٽو ريزسٽ ڪوٽنگ يا ڪيميائي عملن کان پوءِ).
