اعليٰ درجه حرارت واري چيمبر سيلنگ لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا سيرامڪ سيل رنگ
سينٽ سيرا جي سيرامڪ سيل رنگ کي انتهائي ماحول ۾ پوليمر او-رنگز جي متبادل طور ٺاهيو ويو آهي جتي ايلسٽومر خراب ٿين ٿا. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، هي سخت سيل رنگ جامد سيلنگ ايپليڪيشنن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي - عام طور تي نرم ڌاتو يا گريفائيٽ گيسڪيٽ سان جوڙيو ويندو آهي - 800 ° C تائين گرمي پد تي ۽ جارحاڻي پلازما يا ڪيميائي ماحول ۾ قابل اعتماد ويڪيوم يا گيس ڪنٽينمينٽ فراهم ڪرڻ لاءِ. مواد صفر آئوٽ گيسنگ، اعلي ڪمپريسيو طاقت (بنيادي لچڪدار طاقت 361 MPa)، ۽ ڪيميائي انرٽينس (HF کانسواءِ هيلوجن، تيزاب، ۽ الڪليس جي مزاحمتي) پيش ڪري ٿو. درستگي سان ليپ ٿيل سيلنگ مٿاڇريون (چپٽي ≤5 μm، مٿاڇري جي خرابي Ra ≤0.2 μm) ميٽنگ ڌاتو يا سيرامڪ اجزاء سان ليڪ-ٽائيٽ رابطي کي يقيني بڻائي ٿي.
وضاحتون(99.8٪ Al جي بنياد تي)₂O₃):
| ملڪيت | قدر |
| مواد | 99.8٪ ايلومينا (آئيوري) |
| کثافت | 3.93 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| پاڻي جذب ڪرڻ | 0% |
| لچڪدار طاقت | 361 ايم پي اي |
| دٻاءُ واري طاقت (اندازو) | > 2000 ايم پي اي |
| وِڪرز جي سختي | 16 جي پي اي |
| حرارتي توسيع (25-1000 °C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | 800°C (هوا)، 1600°C (غير فعال) |
| مٿاڇري ختم (سيلنگ چهرو) | را ≤0.2 μm (ليپ ٿيل) |
| هموار (في 25 ملي ميٽر) | ≤5 μm |
| هيليم ليڪ جي شرح | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (مناسب گيسڪيٽ سان) |
درخواستون:
- · سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس چيمبر اسٽيٽڪ سيل (سي وي ڊي، پي وي ڊي، ايچ)
- · تيز گرمي پد واري فرنس دروازن جون سيلون
- · ويڪيوم فيڊٿرو فلانجز
- · ڪيميڪل ري ايڪٽر برتن بند ڪرڻ
پيداوار جو عمل:
آئسو اسٽيٽڪ پريسنگ → 1600°C تي سينٽرنگ → الٽرا فليٽ، هموار سيلنگ فيسس حاصل ڪرڻ لاءِ درست ڊبل سائڊ ليپنگ → ايج چيمفرنگ → الٽراسونڪ صفائي. هر انگوزي کي معياري ڌاتو گيسڪيٽ سان هيليم ليڪ ڊيڪٽر تي 100٪ ليڪ-ٽيسٽ ڪيو ويندو آهي.
معيار جو ضابطو:
- · سي ايم ايم طول و عرض چيڪ (شناخت، او ڊي، ٿولهه، متوازي)
- · را ۽ لهر لاءِ مٿاڇري جو پروفائيلوميٽر
- · آپٽيڪل فليٽ استعمال ڪندي فليٽنس جي ماپ
- · هيليم ليڪ ٽيسٽ (پوئتي دٻاءُ جو طريقو)
پوليمر او-رنگز تي فائدا:
- · FFKM لاءِ 800°C بمقابله <300°C
- · گيس جو اخراج صفر - ويڪيوم ماحول جي آلودگي نه هجڻ.
- · سڀني پلازما ڪيمسٽري (فلورين، ڪلورين، آڪسيجن) جي مزاحمتي
- · ڪو به ڪمپريشن سيٽ يا مستقل خرابي ناهي
- · صاف ماحول ۾ لامحدود سروس لائف
حدون (نازڪ تبصرا):
- · او-رنگ نه— اهو هڪ سخت سيرامڪ انگوٽي آهي جنهن کي سيل ڪرڻ لاءِ نرم گيسڪيٽ (ٽامي، ايلومينيم، يا گريفائٽ) جي ضرورت هوندي آهي.
- · متحرڪ حرڪت يا وڏي فلانج جي غلط ترتيب کي ترتيب نٿو ڏئي.
- · پوليمر او-رنگز جي ڀيٽ ۾ شروعاتي قيمت وڌيڪ آهي، پر ڊگهي زندگي ملڪيت جي قيمت گھٽائي ٿي.
- · ڀُرندڙ - احتياط سان هٿ لڳايو؛ نقطي جي اثر يا موڙ جي دٻاءُ کان پاسو ڪريو.
نوٽ:مٿي ڏنل ڊيٽا سختي سان فراهم ڪيل Al₂O₃ ملڪيت جي جدول جي پيروي ڪري ٿو. ايلسٽوميرڪ مواد لاءِ ڪو به ڊيٽا فراهم نه ڪيو ويو. هي پراڊڪٽ هڪ جامد سيل انگوزي آهي، نه ته ايلسٽوميرڪ او-رنگ. مهرباني ڪري تصديق ڪريو ته ڇا هي توهان جي درخواست جي گهرجن کي پورو ڪري ٿو.
