وارپڊ ويفر هينڊلنگ لاءِ پورس سيرامڪ ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو پورس سيرامڪ چڪ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا مان ٺهيل آهي جنهن جي هڪجهڙائي کليل پورسيٽي 30-45٪ آهي ۽ پورس سائيز 10 کان 100 μm تائين آهي. روايتي گروو ٿيل چڪن جي برعڪس، پورس مٿاڇري پوري ويفر جي پٺئين پاسي ورهايل ويڪيوم فراهم ڪري ٿي، مؤثر طريقي سان وارپڊ، پتلي، يا سنگل ٿيل ويفرز کي بغير ڪنڊ لفٽ آف يا ٽٽڻ جي رکي ٿي. نرم ويڪيوم (ريسٽرڪٽر ذريعي ترتيب ڏيڻ وارو) پڻ پٺئين پاسي جي نشان کي روڪي ٿو.
وضاحتون(99.6٪ Al جي بنياد تي)₂O₃):
| ملڪيت | قدر |
| پورسيٽي | 30-45٪ |
| وچولي پور سائيز | 10-100 μm (چونڊڻ لائق) |
| لچڪدار طاقت | ≥250 ايم پي اي |
| هموار (300 ملي ميٽر کان وڌيڪ) | ≤5 μm |
| مٿاڇري ختم ڪرڻ | ليپ ٿيل (Ra 0.8 μm) |
| وڌ ۾ وڌ ويڪيوم ليول | -80 ڪي پي اي |
| آپريٽنگ گرمي پد | 400°C (هوا)، 600°C (غير فعال) |
| مواد | 99.6٪ Al₂O₃، ZrO₂، يا SiC |
درخواستون:
پتلي ويفر (≤50 μm) پوئين پاسي پيسڻ
ڊائسنگ لاءِ وارپڊ ويفر ماؤنٽنگ
ٽيپ مان سنگل ڊائي پڪ اپ
شيشي جي پينل جي سنڀال
پيداوار ۽ معيار:
سيرامڪ پائوڊر کي نامياتي پور فارمرز سان ملايو ويو → دٻايو ويو → سينٽرڊ → آخري ٿلهي تائين ليپ ڪيو ويو. هر چيڪ کي ويڪيوم يونيفارمي (≤5٪ انحراف) لاءِ وهڪري جي جانچ ڪئي وئي آهي ۽ پور سائيز جي تقسيم (SEM) لاءِ معائنو ڪيو ويو آهي. ليزر انٽرفيروميٽر سان ماپيل فليٽنس.
گرووڊ چڪس تي فائدا:
ڪابه ويفر ايج مارڪنگ يا ڊائي شفٽ ناهي
ويڙھيل ويفرز کي رکي ٿو (500 μm ڪمان تائين)
ويڪيوم هول جي بندش کي ختم ڪري ٿو
پتلي سبسٽريٽس لاءِ خود-سطح ڪرڻ وارو سهارو
ڪسٽمائيزيشن:
گول يا مستطيل شڪلون، سائيز 600 ملي ميٽر تائين. اسان ڪنڊ سيلنگ رِنگز يا زون ويڪيوم پارٽيشن لاڳو ڪري سگھون ٿا. اعليٰ سختي جي گهرجن لاءِ ڌاتو جي پٺڀرائي وارا نسخا موجود آهن.
پنهنجي ويفر سائيز ۽ وار پيج ٽيسٽ لاءِ هڪ نمونو درخواست ڪريو.
