-
Al2O3 سيرامڪ ويفر چک جي ڪسٽمائيز پروسيسنگ
ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ ذريعي ٺهيل ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ سينٽر ٿيل، پوءِ درست مشين ۽ پالش ٿيل، سيرامڪ اسپيئر پارٽس سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ڪنهن به سخت ضرورتن کي پورو ڪري سگهن ٿا ان جي خاصيتن سان لباس مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ موصليت. سيرامڪس ڪيترن ئي قسمن جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سامان ۾ ڊگهي وقت تائين اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم يا سنکنرن واري گئس جي حالت ۾ ڪم ڪري سگهن ٿا.
اعليٰ پاڪيزگي واري ايلومينا پائوڊر مان ٺهيل، ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ، اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ ۽ درستگي سان ختم ڪرڻ سان پروسيس ڪيو ويو، اهو طول و عرض رواداري ±0.001 ملي ميٽر، مٿاڇري جي ختم ڪرڻ Ra 0.1، گرمي پد جي مزاحمت 1600 ℃ تائين پهچي سگهي ٿو.
-
ST.CERA ڪسٽمائيز سيمي ڪنڊڪٽر سامان سيرامڪ پليٽ
ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ ذريعي ٺهيل ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ سينٽر ٿيل، پوءِ درست مشين ۽ پالش ٿيل، سيرامڪ اسپيئر پارٽس سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ڪنهن به سخت ضرورتن کي پورو ڪري سگهن ٿا ان جي خاصيتن سان لباس مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ موصليت. سيرامڪس ڪيترن ئي قسمن جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سامان ۾ ڊگهي وقت تائين اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم يا سنکنرن واري گئس جي حالت ۾ ڪم ڪري سگهن ٿا.
اعليٰ پاڪيزگي واري ايلومينا پائوڊر مان ٺهيل، ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ، اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ ۽ درستگي سان ختم ڪرڻ سان پروسيس ڪيو ويو، اهو طول و عرض رواداري ±0.001 ملي ميٽر، مٿاڇري جي ختم ڪرڻ Ra 0.1، گرمي پد جي مزاحمت 1600 ℃ تائين پهچي سگهي ٿو.
-
300mm ويفر پروسيسنگ لاءِ 12 انچ ايلومينا ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو 12 انچ ويڪيوم چڪ 300 ملي ميٽر ويفر هينڊلنگ لاءِ 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان درستگي سان انجنيئر ٿيل آهي. چڪ ۾ هڪ نفيس نالي واري مٿاڇري (نالي ويڪر 0.5-1.0 ملي ميٽر، پچ 2-3 ملي ميٽر) آهي ته جيئن پوري 300 ملي ميٽر قطر ۾ هڪجهڙائي ويڪيوم ورڇ کي يقيني بڻائي سگهجي. 5 μm اندر فليٽنس برقرار رکيو ويندو آهي، جيڪو ڊائسنگ، پٺئين پاسي پيسڻ، ۽ معائني دوران وارپ فري ويفر فڪسيشن کي فعال بڻائيندو آهي. مواد جي اعليٰ لچڪدار طاقت (361 MPa) ۽ سختي (16 GPa) بار بار ويڪيوم چڪرن جي تحت به ڊگهي مدت جي طول و عرض جي استحڪام جي ضمانت ڏئي ٿي.
-
سيمي ڪنڊڪٽر پروب سامان لاءِ سيرامڪ اسپيئر پارٽس
ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ ذريعي ٺهيل ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ سينٽر ٿيل، پوءِ درست مشين ۽ پالش ٿيل، سيرامڪ اسپيئر پارٽس سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ڪنهن به سخت ضرورتن کي پورو ڪري سگهن ٿا ان جي خاصيتن سان لباس مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ موصليت. سيرامڪس ڪيترن ئي قسمن جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سامان ۾ ڊگهي وقت تائين اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم يا سنکنرن واري گئس جي حالت ۾ ڪم ڪري سگهن ٿا.
اعليٰ پاڪيزگي واري ايلومينا پائوڊر مان ٺهيل، ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ، اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ ۽ درستگي سان ختم ڪرڻ سان پروسيس ڪيو ويو، اهو طول و عرض رواداري ±0.001 ملي ميٽر، مٿاڇري جي ختم ڪرڻ Ra 0.1، گرمي پد جي مزاحمت 1600 ℃ تائين پهچي سگهي ٿو.
-
سيرامڪ پليٽ سيمي ڪنڊڪٽر سامان ڪيريئر
ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ ذريعي ٺهيل ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ سينٽر ٿيل، پوءِ درست مشين ۽ پالش ٿيل، سيرامڪ اسپيئر پارٽس سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ڪنهن به سخت ضرورتن کي پورو ڪري سگهن ٿا ان جي خاصيتن سان لباس مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ موصليت. سيرامڪس ڪيترن ئي قسمن جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سامان ۾ ڊگهي وقت تائين اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم يا سنکنرن واري گئس جي حالت ۾ ڪم ڪري سگهن ٿا.
اعليٰ پاڪيزگي واري ايلومينا پائوڊر مان ٺهيل، ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ، اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ ۽ درستگي سان ختم ڪرڻ سان پروسيس ڪيو ويو، اهو طول و عرض رواداري ±0.001 ملي ميٽر، مٿاڇري جي ختم ڪرڻ Ra 0.1، گرمي پد جي مزاحمت 1600 ℃ تائين پهچي سگهي ٿو.
-
سيمي ڪنڊڪٽر سامان سيرامڪ اسپيئر پارٽس
ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ ذريعي ٺهيل ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ سينٽر ٿيل، پوءِ درست مشين ۽ پالش ٿيل، سيرامڪ اسپيئر پارٽس سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ڪنهن به سخت ضرورتن کي پورو ڪري سگهن ٿا ان جي خاصيتن سان لباس مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ موصليت. سيرامڪس ڪيترن ئي قسمن جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سامان ۾ ڊگهي وقت تائين اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم يا سنکنرن واري گئس جي حالت ۾ ڪم ڪري سگهن ٿا.
اعليٰ پاڪيزگي واري ايلومينا پائوڊر مان ٺهيل، ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ، اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ ۽ درستگي سان ختم ڪرڻ سان پروسيس ڪيو ويو، اهو طول و عرض رواداري ±0.001 ملي ميٽر، مٿاڇري جي ختم ڪرڻ Ra 0.1، گرمي پد جي مزاحمت 1600 ℃ تائين پهچي سگهي ٿو.
-
اعليٰ درجه حرارت واري چيمبر سيلنگ لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا سيرامڪ سيل رنگ
سينٽ سيرا جي سيرامڪ سيل رنگ کي انتهائي ماحول ۾ پوليمر او-رنگز جي متبادل طور ٺاهيو ويو آهي جتي ايلسٽومر خراب ٿين ٿا. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، هي سخت سيل رنگ جامد سيلنگ ايپليڪيشنن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي - عام طور تي نرم ڌاتو يا گريفائيٽ گيسڪيٽ سان جوڙيو ويندو آهي - 800 ° C تائين گرمي پد تي ۽ جارحاڻي پلازما يا ڪيميائي ماحول ۾ قابل اعتماد ويڪيوم يا گيس ڪنٽينمينٽ فراهم ڪرڻ لاءِ. مواد صفر آئوٽ گيسنگ، اعلي ڪمپريسيو طاقت (بنيادي لچڪدار طاقت 361 MPa)، ۽ ڪيميائي انرٽينس (HF کانسواءِ هيلوجن، تيزاب، ۽ الڪليس جي مزاحمتي) پيش ڪري ٿو. درستگي سان ليپ ٿيل سيلنگ مٿاڇريون (چپٽي ≤5 μm، مٿاڇري جي خرابي Ra ≤0.2 μm) ميٽنگ ڌاتو يا سيرامڪ اجزاء سان ليڪ-ٽائيٽ رابطي کي يقيني بڻائي ٿي.
-
پلازما ايچ ۽ سي وي ڊي سسٽم لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا چيمبر فوڪس رنگ
سينٽ سيرا جو چيمبر فوڪس رنگ هڪ نازڪ پروسيس ڪٽ جزو آهي جيڪو پلازما ايچ، سي وي ڊي، ۽ پي وي ڊي سيمي ڪنڊڪٽر سامان ۾ استعمال ٿيندو آهي. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، رنگ پلازما کي محدود ڪرڻ ۽ آئن اينگولر ورڇ کي بهتر بڻائڻ لاءِ ويفر ايج کي گهيرو ڪري ٿو، ان ڪري ويفر جي مٿاڇري تي ايچ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائي ٿو. مواد غير معمولي پلازما مزاحمت، اعلي ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (15×10⁶ V/m)، ۽ 1600°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو، جارحاڻي فلورين- يا ڪلورين تي ٻڌل پلازما ماحول ۾ ڊگهي مدت جي اعتبار کي يقيني بڻائي ٿو. درستگي-گرائونڊ ID/OD ۽ فليٽنس (≤10 μm) صحيح ويفر ايج پوزيشننگ کي فعال ڪن ٿا، ايج جي خرابين ۽ ذرڙن جي پيداوار کي گهٽائي ٿو.
-
سي وي ڊي / پي وي ڊي پروسيس چيمبرز لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا سيرامڪ رنگ
سينٽ سيرا جي سيرامڪ رنگ خاص طور تي CVD (ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن) ۽ PVD (فزيڪل وانپ ڊپوزيشن) پروسيس چيمبرز ۾ استعمال لاءِ ٺهيل آهي. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، هي رنگ پلازما کي محدود ڪرڻ ۽ چيمبر جي ڀتين کي ڪٽڻ کان بچائڻ لاءِ چيمبر لائنر، فوڪس رنگ، يا پروسيس ڪٽ جزو طور ڪم ڪري ٿو. مواد بهترين پلازما مزاحمت، اعليٰ ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (15×10⁶ V/m)، ۽ 1600°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو، جارحاڻي فلورين تي ٻڌل پلازما ماحول ۾ ڊگهي سروس لائف کي يقيني بڻائي ٿو. صحيح طول و عرض رواداري (ID/OD تي ±0.05 ملي ميٽر) ۽ فليٽنس (≤10 μm) مسلسل ويفر ايج پوزيشننگ کي فعال ڪن ٿا، جمع ڪرڻ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائين ٿا ۽ ذرات جي پيداوار کي گهٽائين ٿا.
-
وارپڊ ويفر هينڊلنگ لاءِ پورس سيرامڪ ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو پورس سيرامڪ چڪ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا مان ٺهيل آهي جنهن جي هڪجهڙائي کليل پورسيٽي 30-45٪ آهي ۽ پورس سائيز 10 کان 100 μm تائين آهي. روايتي گروو ٿيل چڪن جي برعڪس، پورس مٿاڇري پوري ويفر جي پٺئين پاسي ورهايل ويڪيوم فراهم ڪري ٿي، مؤثر طريقي سان وارپڊ، پتلي، يا سنگل ٿيل ويفرز کي بغير ڪنڊ لفٽ آف يا ٽٽڻ جي رکي ٿي. نرم ويڪيوم (ريسٽرڪٽر ذريعي ترتيب ڏيڻ وارو) پڻ پٺئين پاسي جي نشان کي روڪي ٿو.
-
پتلي ويفر هينڊلنگ لاءِ ايلومينا تي ٻڌل پورس سيرامڪ ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو ايلومينا تي ٻڌل پورس چڪ 99.6٪ هاءِ-پيوريٽي Al₂O₃ مان ٺهيل آهي جنهن ۾ 30-45٪ جي ڪنٽرول ٿيل اوپن پورسيٽي ۽ 10 کان 50 μm تائين هڪجهڙائي واري پورس سائيز آهي. گروو ٿيل چڪن جي برعڪس، پورس مٿاڇري پوري ويفر جي پٺئين پاسي ورهايل ويڪيوم فراهم ڪري ٿي، ڪنڊ مارڪنگ کي ختم ڪري ٿي ۽ الٽرا پتلي (≤100 μm) يا وارپڊ ويفرز جي نرم هولڊنگ کي فعال بڻائي ٿي. مواد لچڪدار طاقت ≥250 MPa ۽ هوا ۾ 400°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو.
-
سي وي ڊي/پي وي ڊي شاور هيڊ لاءِ ايلومينا گيس ڊسٽريبيوشن پليٽ
سينٽ سيرا جي گيس ڊسٽريبيوشن پليٽ (شاور هيڊ) اعليٰ پاڪائي 99.8٪ ايلومينا سيرامڪ مان تيار ڪيل آهي. ان ۾ مائڪرو هولز (قطر 0.3-1.5 ملي ميٽر) جي هڪ صف شامل آهي جيڪا CVD، PVD، يا ALD عملن دوران ويفر جي مٿاڇري تي هڪجهڙائي واري گئس جي وهڪري کي يقيني بڻائي ٿي. پليٽ جي اعليٰ ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (>15×10⁶ V/m) ۽ پلازما مزاحمت ان کي سيمي ڪنڊڪٽر پتلي فلم جمع ڪرڻ لاءِ ضروري بڻائي ٿي.
