-
سيمي ڪنڊڪٽر پروب سامان لاءِ سيرامڪ اسپيئر پارٽس
ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ ذريعي ٺهيل ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ سينٽر ٿيل، پوءِ درست مشين ۽ پالش ٿيل، سيرامڪ اسپيئر پارٽس سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ڪنهن به سخت ضرورتن کي پورو ڪري سگهن ٿا ان جي خاصيتن سان لباس مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ موصليت. سيرامڪس ڪيترن ئي قسمن جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سامان ۾ ڊگهي وقت تائين اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم يا سنکنرن واري گئس جي حالت ۾ ڪم ڪري سگهن ٿا.
اعليٰ پاڪيزگي واري ايلومينا پائوڊر مان ٺهيل، ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ، اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ ۽ درستگي سان ختم ڪرڻ سان پروسيس ڪيو ويو، اهو طول و عرض رواداري ±0.001 ملي ميٽر، مٿاڇري جي ختم ڪرڻ Ra 0.1، گرمي پد جي مزاحمت 1600 ℃ تائين پهچي سگهي ٿو.
-
سيرامڪ پليٽ سيمي ڪنڊڪٽر سامان ڪيريئر
ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ ذريعي ٺهيل ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ سينٽر ٿيل، پوءِ درست مشين ۽ پالش ٿيل، سيرامڪ اسپيئر پارٽس سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ڪنهن به سخت ضرورتن کي پورو ڪري سگهن ٿا ان جي خاصيتن سان لباس مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ موصليت. سيرامڪس ڪيترن ئي قسمن جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سامان ۾ ڊگهي وقت تائين اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم يا سنکنرن واري گئس جي حالت ۾ ڪم ڪري سگهن ٿا.
اعليٰ پاڪيزگي واري ايلومينا پائوڊر مان ٺهيل، ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ، اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ ۽ درستگي سان ختم ڪرڻ سان پروسيس ڪيو ويو، اهو طول و عرض رواداري ±0.001 ملي ميٽر، مٿاڇري جي ختم ڪرڻ Ra 0.1، گرمي پد جي مزاحمت 1600 ℃ تائين پهچي سگهي ٿو.
-
سيمي ڪنڊڪٽر سامان سيرامڪ اسپيئر پارٽس
ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ ذريعي ٺهيل ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ سينٽر ٿيل، پوءِ درست مشين ۽ پالش ٿيل، سيرامڪ اسپيئر پارٽس سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ڪنهن به سخت ضرورتن کي پورو ڪري سگهن ٿا ان جي خاصيتن سان لباس مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ موصليت. سيرامڪس ڪيترن ئي قسمن جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سامان ۾ ڊگهي وقت تائين اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم يا سنکنرن واري گئس جي حالت ۾ ڪم ڪري سگهن ٿا.
اعليٰ پاڪيزگي واري ايلومينا پائوڊر مان ٺهيل، ٿڌي آئوسٽيٽڪ پريسنگ، اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ ۽ درستگي سان ختم ڪرڻ سان پروسيس ڪيو ويو، اهو طول و عرض رواداري ±0.001 ملي ميٽر، مٿاڇري جي ختم ڪرڻ Ra 0.1، گرمي پد جي مزاحمت 1600 ℃ تائين پهچي سگهي ٿو.
-
اعليٰ درجه حرارت واري چيمبر سيلنگ لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا سيرامڪ سيل رنگ
سينٽ سيرا جي سيرامڪ سيل رنگ کي انتهائي ماحول ۾ پوليمر او-رنگز جي متبادل طور ٺاهيو ويو آهي جتي ايلسٽومر خراب ٿين ٿا. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، هي سخت سيل رنگ جامد سيلنگ ايپليڪيشنن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي - عام طور تي نرم ڌاتو يا گريفائيٽ گيسڪيٽ سان جوڙيو ويندو آهي - 800 ° C تائين گرمي پد تي ۽ جارحاڻي پلازما يا ڪيميائي ماحول ۾ قابل اعتماد ويڪيوم يا گيس ڪنٽينمينٽ فراهم ڪرڻ لاءِ. مواد صفر آئوٽ گيسنگ، اعلي ڪمپريسيو طاقت (بنيادي لچڪدار طاقت 361 MPa)، ۽ ڪيميائي انرٽينس (HF کانسواءِ هيلوجن، تيزاب، ۽ الڪليس جي مزاحمتي) پيش ڪري ٿو. درستگي سان ليپ ٿيل سيلنگ مٿاڇريون (چپٽي ≤5 μm، مٿاڇري جي خرابي Ra ≤0.2 μm) ميٽنگ ڌاتو يا سيرامڪ اجزاء سان ليڪ-ٽائيٽ رابطي کي يقيني بڻائي ٿي.
-
پلازما ايچ ۽ سي وي ڊي سسٽم لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا چيمبر فوڪس رنگ
سينٽ سيرا جو چيمبر فوڪس رنگ هڪ نازڪ پروسيس ڪٽ جزو آهي جيڪو پلازما ايچ، سي وي ڊي، ۽ پي وي ڊي سيمي ڪنڊڪٽر سامان ۾ استعمال ٿيندو آهي. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، رنگ پلازما کي محدود ڪرڻ ۽ آئن اينگولر ورڇ کي بهتر بڻائڻ لاءِ ويفر ايج کي گهيرو ڪري ٿو، ان ڪري ويفر جي مٿاڇري تي ايچ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائي ٿو. مواد غير معمولي پلازما مزاحمت، اعلي ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (15×10⁶ V/m)، ۽ 1600°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو، جارحاڻي فلورين- يا ڪلورين تي ٻڌل پلازما ماحول ۾ ڊگهي مدت جي اعتبار کي يقيني بڻائي ٿو. درستگي-گرائونڊ ID/OD ۽ فليٽنس (≤10 μm) صحيح ويفر ايج پوزيشننگ کي فعال ڪن ٿا، ايج جي خرابين ۽ ذرڙن جي پيداوار کي گهٽائي ٿو.
-
سي وي ڊي / پي وي ڊي پروسيس چيمبرز لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا سيرامڪ رنگ
سينٽ سيرا جي سيرامڪ رنگ خاص طور تي CVD (ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن) ۽ PVD (فزيڪل وانپ ڊپوزيشن) پروسيس چيمبرز ۾ استعمال لاءِ ٺهيل آهي. 99.8٪ هاءِ-پيوريٽي ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، هي رنگ پلازما کي محدود ڪرڻ ۽ چيمبر جي ڀتين کي ڪٽڻ کان بچائڻ لاءِ چيمبر لائنر، فوڪس رنگ، يا پروسيس ڪٽ جزو طور ڪم ڪري ٿو. مواد بهترين پلازما مزاحمت، اعليٰ ڊائيلڪٽرڪ طاقت (15×10⁶ V/m)، ۽ 1600°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو، جارحاڻي فلورين تي ٻڌل پلازما ماحول ۾ ڊگهي سروس لائف کي يقيني بڻائي ٿو. صحيح طول و عرض رواداري (ID/OD تي ±0.05 ملي ميٽر) ۽ فليٽنس (≤10 μm) مسلسل ويفر ايج پوزيشننگ کي فعال ڪن ٿا، جمع یکسانيت کي بهتر بڻائين ٿا ۽ ذرات جي پيداوار کي گهٽائين ٿا.
-
برنولي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر - پتلي ۽ نازڪ ويفرز لاءِ غير رابطي واري ويفر هينڊلنگ
سينٽ سيرا جو برنولي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر جسماني رابطي کان سواءِ ويفرز کي سنڀالڻ لاءِ ايروڊائينامڪ لفٽ استعمال ڪري ٿو. اعليٰ پاڪائي 99.8٪ ايلومينا (Al₂O₃) يا سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) مان ٺهيل، ان ۾ درستگي سان ٺهيل نوزلز شامل آهن جيڪي پريشر ٿيل گئس کي خارج ڪن ٿا ته جيئن اينڊ ايفيڪٽر ۽ ويفر جي وچ ۾ هڪ پتلي هوائي فلم ٺاهي سگهجي. هي غير رابطي وارو اصول پوئين پاسي جي آلودگي، ڪنڊ چپنگ، ۽ مٿاڇري جي نقصان کي ختم ڪري ٿو، ان کي پتلي (≤100 μm)، نازڪ، يا وارپڊ ويفرز لاءِ مثالي بڻائي ٿو. سيرامڪ سبسٽريٽ اعلي لچڪدار طاقت (Al₂O₃ لاءِ 361 MPa؛ SiC لاءِ 550-600 MPa تائين)، گهٽ ماس، ۽ بهترين طول و عرض استحڪام فراهم ڪري ٿو، تيز رفتار ويفر ٽرانسفر روبوٽس ۾ ورجائي سگهڻ واري پوزيشن کي يقيني بڻائي ٿو.
-
سيمي ڪنڊڪٽر ۽ صنعتي ايپليڪيشنن لاءِ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا سيرامڪ حصا
سينٽ سيرا گراهڪ جي وضاحتن مطابق درست مشيني ايلومينا (Al₂O₃) سيرامڪ حصا تيار ڪري ٿو. 99.8٪ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا استعمال ڪندي، اهي جزا بهترين لچڪدار طاقت (361 MPa)، اعليٰ سختي (16 GPa)، ۽ شاندار ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (15×10⁶ V/m) فراهم ڪن ٿا. سيمي ڪنڊڪٽر سامان، لباس مزاحمتي اسيمبليون، برقي انسوليٽر، ۽ اعليٰ درجه حرارت جي فڪسچر لاءِ ٺهيل، مواد صفر جي ويجهو پاڻي جذب (0٪) ۽ 7.2×10⁻⁶/℃ جو حرارتي توسيع ڪوئفيشنٽ پيش ڪري ٿو، انتهائي حالتن ۾ طول و عرض جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿو.
-
وارپڊ ويفر هينڊلنگ لاءِ پورس سيرامڪ ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو پورس سيرامڪ چڪ اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا مان ٺهيل آهي جنهن جي هڪجهڙائي کليل پورسيٽي 30-45٪ آهي ۽ پورس سائيز 10 کان 100 μm تائين آهي. روايتي گروو ٿيل چڪن جي برعڪس، پورس مٿاڇري پوري ويفر جي پٺئين پاسي ورهايل ويڪيوم فراهم ڪري ٿي، مؤثر طريقي سان وارپڊ، پتلي، يا سنگل ٿيل ويفرز کي بغير ڪنڊ لفٽ آف يا ٽٽڻ جي رکي ٿي. نرم ويڪيوم (ريسٽرڪٽر ذريعي ترتيب ڏيڻ وارو) پڻ پٺئين پاسي جي نشان کي روڪي ٿو.
-
پتلي ويفر هينڊلنگ لاءِ ايلومينا تي ٻڌل پورس سيرامڪ ويڪيوم چيڪ
سينٽ سيرا جو ايلومينا تي ٻڌل پورس چڪ 99.6٪ هاءِ-پيوريٽي Al₂O₃ مان ٺهيل آهي جنهن ۾ 30-45٪ جي ڪنٽرول ٿيل اوپن پورسيٽي ۽ 10 کان 50 μm تائين هڪجهڙائي واري پورس سائيز آهي. گروو ٿيل چڪن جي برعڪس، پورس مٿاڇري پوري ويفر جي پٺئين پاسي ورهايل ويڪيوم فراهم ڪري ٿي، ڪنڊ مارڪنگ کي ختم ڪري ٿي ۽ الٽرا پتلي (≤100 μm) يا وارپڊ ويفرز جي نرم هولڊنگ کي فعال بڻائي ٿي. مواد لچڪدار طاقت ≥250 MPa ۽ هوا ۾ 400°C تائين حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو.
-
سي وي ڊي/پي وي ڊي شاور هيڊ لاءِ ايلومينا گيس ڊسٽريبيوشن پليٽ
سينٽ سيرا جي گيس ڊسٽريبيوشن پليٽ (شاور هيڊ) اعليٰ پاڪائي 99.8٪ ايلومينا سيرامڪ مان تيار ڪيل آهي. ان ۾ مائڪرو هولز (قطر 0.3-1.5 ملي ميٽر) جي هڪ صف شامل آهي جيڪا CVD، PVD، يا ALD عملن دوران ويفر جي مٿاڇري تي هڪجهڙائي واري گئس جي وهڪري کي يقيني بڻائي ٿي. پليٽ جي اعليٰ ڊائي اليڪٽرڪ طاقت (>15×10⁶ V/m) ۽ پلازما مزاحمت ان کي سيمي ڪنڊڪٽر پتلي فلم جمع ڪرڻ لاءِ ضروري بڻائي ٿي.
-
سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس فڪسچر لاءِ سيرامڪ سپورٽنگ پن
سينٽ سيرا جا سيرامڪ سپورٽنگ پن (جن کي لفٽ پن يا سپورٽ پن پڻ چيو ويندو آهي) سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس چيمبرز ۾ استعمال ڪيا ويندا آهن ته جيئن هٿ ڪرڻ، گرم ڪرڻ، يا کولنگ دوران ويفرز يا سبسٽريٽس کي بلند ڪري سگهجي. 99.8٪ ايلومينا يا سلڪون نائٽرائڊ مان ٺهيل، اهي پن اعليٰ دٻاءُ واري طاقت، حرارتي استحڪام، ۽ ڪيميائي مزاحمت پيش ڪن ٿا. اڌ گول يا فليٽ ٽپ ڊيزائن ويفر کي ڇڪڻ کان روڪي ٿو.
